CHRocodile CLS 2.0 Cover Glass Inspection

3D 计量 - 线传感器

高速 3D 共焦线传感器 CHRocodile CLS 2

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NA 与高分辨率的最佳组合

CHRocodile CLS 2 使您能够以非常高的速度测量高斜率复杂表面,并且不会产生阴影。它几乎可以对所有材料,甚至是难以测量的材料进行高度精确的测量,并且分辨率很高。其多功能性可确保完成各种测量任务。此外,CLS 2.0 有助于降低运营成本、节省时间并确保智能工厂的 100% 控制等。

合适的应用 CHRocodile CLS 2

CHRocodile CLS 2 非常适合半导体应用,包括探针卡检测、引线键合检测、凸点测量、晶圆边缘检查、外观和质量检测等,例如晶圆、玻璃或金属以及冠状动脉支架上的划痕等。此外,它比其它替代(竞品)设备更小更轻。

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优势

  • 高速度、高精度:
    凭借 4800 万个测量点和每秒高达 40000 行的扫描速度,CHRocodile CLS 2 非常适合对周期时间要求极高,同时需要具有极高横向和轴向分辨率的超精确测量数据的在线质量控制应用。
  • 高度灵活:
    该共焦线传感器功能多样,是各种测量任务的理想选择,例如,形貌结构和厚度测量、成分、分层、透明材料下的表面,以及复杂的几何形状。即使是难以测量的材料,例如漫反射、粗糙表面、彩色、抛光或反射表面,CHRocodile CLS 2 也能高速、精确地进行测量。
  • 无阴影得益于:
    该线扫描仪的同轴技术,入射光和检测到的光遵循相同的路径,因此入射光束和检测光束之间不存在角度。这使得其能够测量各种几何形状,而不会出现三角测量中的阴影问题。
  • 易于更换的探头
    该传感器配置了三个易于更换的探头,您可轻松地为每项测量任务配备合适的探头。您可以选择长达 12mm 的长线来快速检测大型零件,或者选择高达 50° 数值孔径的较短线。
  • 点密度高:
    CHRocodile CLS 2 以每行 1200 个点扫描对象。结合与像素间距相当的高横向分辨率和良好的轴向分辨率,可以获得高密度的非冗余信息和优质的测量结果。

技术数据

  • 测量速率(行/秒):高达 40000 行/秒
  • 测量范围:680 µm 至 10600 µm,具体取决于使用的探头
  • 横向分辨率:0.4 - 2 µm,具体取决于使用的探头

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